Target Sputtering Tantalum Kemurnian Tinggi

In recent years, with the rapid development of the electronic information industry, sputtering targets for integrated circuits have also been greatly developed. Among the metal targets used to manufacture semiconductor chips, common sputtering targets are non-ferrous metals such as Ta Ti Al Co and Cu. Among them, the largest amount of metal sputtering targets for integrated circuit manufacturing is ultra-high purity aluminum (>99,999 persen ) dan target paduan aluminium kemurnian ultra-tinggi, dan target titanium kemurnian ultra-tinggi yang digunakan untuk lapisan penghalang sputtering adalah target titanium kemurnian ultra-tinggi. Dalam LSI, elektromigrasi interkoneksi logam adalah salah satu mekanisme kegagalan utama. Pada kerapatan arus tinggi, kawat aluminium rentan terhadap migrasi listrik, menghasilkan pembentukan tonjolan dan rongga dalam film interkoneksi aluminium, sehingga mengurangi efisiensi operasi dan keandalan sirkuit terpadu. Resistivitas Cu sekitar 35 persen lebih rendah daripada Al, dan ketahanan terhadap elektromigrasi juga kuat; Dan dengan pengembangan sirkuit terpadu skala tinggi, tingkat integrasi semakin tinggi dan lebih tinggi, dan persyaratan teknis yang lebih tinggi diajukan untuk pembuatan target sputtering untuk lapisan interline dan penghalang, dalam proses submikron dalam ( Kurang dari atau sama dengan 018um), tembaga secara bertahap akan menggantikan aluminium sebagai bahan untuk kabel metalisasi pada wafer silikon, target tembaga kemurnian ultra-tinggi dapat lebih banyak digunakan, dan sputtering yang sesuai dari penghalang laki-laki adalah target tantalum kemurnian tinggi.

Dengan peningkatan jumlah target tantalum kemurnian tinggi sebagai bahan pelapis penghalang sputter, persyaratannya untuk kinerja target juga semakin tinggi, seperti ukuran target sputtering yang lebih besar dan lebih besar, struktur mikro yang lebih halus dan lebih seragam, dll. Oleh karena itu, penelitian tentang proses penyusunan target sputtering secara bertahap menarik perhatian. Saat ini, proses persiapan target sputtering tantalum kemurnian tinggi terutama mencakup metode peleburan dan pengecoran dan metode metalurgi serbuk:

1. Persiapan target sputtering kemurnian tinggi dengan metode peleburan dan pengecoran

Metode peleburan dan pengecoran saat ini merupakan metode utama untuk menyiapkan target sputtering tantalum, umumnya bahan baku tantalum ditempa (berkas atau busur elektron, peleburan plasma, dll.), dan ingot atau blank yang diperoleh berulang kali ditempa panas, dianil, dan kemudian digulung, dianil, dan diselesaikan ke sasaran. Ingot atau blanko ditempa panas untuk menghancurkan struktur pengecoran, sehingga pori-pori atau segregasi menyebar, menghilang, dan kemudian mengkristal ulang dengan anil, sehingga meningkatkan densifikasi dan kekuatan jaringan.

Untuk memastikan bahwa target dapat sputtering film berkualitas tinggi, umumnya ada persyaratan tinggi untuk target sputtering tantalum, dan semakin tinggi kemurnian bahan target, semakin baik kualitas film.

2. Persiapan target sputtering tantalum kemurnian tinggi dengan metalurgi serbuk

Metode untuk mempersiapkan target tantalum kemurnian tinggi dengan metalurgi serbuk terutama meliputi pengepresan panas, pengepresan isostatik panas, sintering vakum isostatik dingin, dll. Saat ini, metode target penyiapan metalurgi bubuk yang lebih umum adalah metode target sputtering tantalum terutama pengepresan panas dan metode pengepresan isostatik panas , dengan nitridasi permukaan bubuk logam, bubuk tantalum dengan kandungan oksigen di bawah 300mg/kg dan kandungan nitrogen di bawah 10mg/kg dapat diperoleh, dan kemudian dimuat ke dalam cetakan, dan kemudian membentuk cetakan dingin dan cetakan pengepresan isostatik panas atau lainnya metode sintering, kemurnian 99,95 persen atau lebih, ukuran butir rata-rata kurang dari 50um, atau bahkan 10um, teksturnya acak, dan tekstur target tantalum seragam di sepanjang permukaan dan ketebalan target.

Tag populer: target sputtering tantalum kemurnian tinggi, pemasok, produsen, pabrik, disesuaikan, beli, harga, kutipan, kualitas, untuk dijual, dalam stok