Target semprotan termal yang berputar memiliki struktur mikro yang terdiri dari butiran datar dan bulat yang menyerupai kue, dan orientasi butiran sejajar dengan sumbu rotasi. Organisasi ini mengandung banyak pori-pori pada skala mikron, dan porositas keseluruhannya setinggi { {0}}%.Bahan pelapis, metode penyemprotan, dan laju aliran gas semuanya berdampak signifikan terhadap kuantitas dan bentuk pori-pori. Adsorpsi dan desorpsi oksigen, serta kelembapan lingkungan selama pembuatan dan penyimpanan target, berkorelasi erat dengan pori-pori. Akibatnya, sebelum sputtering, target penyemprotan termal perlu menghilangkan gas yang teradsorpsi dari permukaan menggunakan pompa pendukung yang terisolasi.
Karena penyemprotan termal dapat melapisi benda seperti batang, kabel, dan partikel bubuk yang tidak akan menguap sebelum meleleh, penyemprotan termal dapat digunakan untuk melapisi berbagai bahan, termasuk logam, paduan, dan keramik. Target pengecoran fusi hanya dapat dibuat dari logam atau paduan yang titik lelehnya sama dengan titik leleh mesin pengecoran. Keramik yang rapuh tidak baik untuk pengecoran. Peralatan pengecoran khusus diperlukan jika titik lelehnya terlalu tinggi. Selain itu, beberapa bahan keramik akan larut atau terdegradasi sebelum meleleh.
