Apa saja jenis bahan target yang ada? (1)
Apa saja bahan yang menjadi target?
Target sebenarnya adalah konsep yang luas. Ada tiga cara untuk mengklasifikasikan material target:
1. Berdasarkan dimensi eksternal, dapat dibagi menjadi target silinder, persegi panjang, pelat persegi, dan target tabung. Berdasarkan materialnya, material target dapat dibagi menjadi target logam, target polimer keramik non-logam, dan target paduan, dll.;
2. Berdasarkan bahannya, bahan target dapat dibagi menjadi target logam konvensional, target logam mulia, target logam tanah jarang, target non-logam, target sputtering paduan, target sputtering keramik, dan lain-lain;
3. Menurut bidang aplikasinya, dapat dibagi menjadi target untuk semikonduktor, target untuk panel tampilan, target untuk sel surya, target untuk perekaman magnetik, dll.
Klasifikasi berdasarkan bentuk target
Target yang umum sebagian besar adalah target persegi dan target bulat, yang merupakan target padat. Dalam operasi pelapisan, medan magnet yang dihasilkan oleh magnet permanen melingkar pada permukaan target berbentuk annular, erosi yang tidak merata akan terjadi, keseragaman ketebalan film yang terciprat tidak baik, dan efisiensi penggunaan target hanya sekitar 20% hingga 30%. Target tabung berongga yang saat ini sedang dipromosikan dapat berputar di sekitar rakitan magnet batang tetap untuk jangka waktu tertentu, dan permukaan target 360 derajat dapat terukir secara merata, yang memiliki keuntungan yang jelas dan meningkatkan tingkat penggunaan hingga 80%.
Klasifikasi berdasarkan bahan target
Target logam konvensional:
|
Sasaran aluminium Al |
Target tembaga Cu |
Target kromium Cr |
Target Barium Ba |
|
Target Bismut Bi |
Target kadmium Cd |
Sasaran zirkonium Zr |
Seng target Zn |
|
Target Nikel Ni |
Target kobalt C |
Target kalsium Ca |
Niobium target Nb |
|
Target Indium Di |
Sasaran Tungsten W |
Target molibdenum Mo |
Target Vanadium V |
|
Target besi Fe |
Target titanium Ti |
Target Hafnium Hf |
Target Itrium Y |
|
Target Tantalum Ta |
Target litium Li |
Target magnesium Mg |
Target Timah Sn |
|
Target mangan Mn |
Target utama Pb |
Target silikon Si |
Sasaran aluminium Al |
|
Btarget erilium Jadilah |
Target tembaga Cu |
Starget kandida Sc |
|
Target logam mulia
ETS:
|
Target Perak Ag |
Target emas Au |
Target platina Pt |
Target paladium Pd |
|
Target Rhodium Rh |
Target Iridium Ir |
Target Renium Re |
Target Rruthenium R |
Sasaran logam tanah jarang:
|
Target Lantanum La |
Target cerium Ce |
Target Praseodymium Pr |
|
Target Samarium Sm |
Target Europium Uni Eropa |
Target gadolinium Gd |
|
Target disprosium Dy |
Target Holmium Ho |
Target Erbium Er |
|
Target Iterbium Yb |
Lutetim target Lu |
Ttarget thulium Tm |
|
Terbium target Tb |
Target Neodymium Nd |
|
Target non-logam:
|
Target Grafit C |
Sasaran Boron B |
Target Germanium G |
|
Target Selenium Se |
Target antimon Sb |
Target telurium Te |
Pencarian terpopuler: Material target, Material target sputtering, material target tantalum, material target niobium, material target vanadium, aplikasi material target, ukuran material target.
