Bidang penerapan bahan target tantalum

Terutama digunakan dalam deposisi uap fisik dan proses lainnya, selama proses sputtering, atom pada permukaan target tantalum dibombardir dan diendapkan dalam bentuk lapisan tipis pada substrat untuk mendapatkan bahan lapisan tipis yang diinginkan.
Titik leleh tantalum mencapai 2996 derajat , yang memungkinkan target tantalum menjaga stabilitas struktur yang baik di lingkungan sputtering bersuhu tinggi dan tidak mudah berubah bentuk atau menguap. Kepadatannya biasanya di atas 16,6g/cm³, yang dapat mengurangi masalah retak atau deformasi selama sputtering, sekaligus mengurangi percikan partikel dan meningkatkan kualitas film. Pada suhu sputtering, tidak mudah menguap, sehingga meminimalkan hilangnya bahan target selama proses sputtering dan menyediakan atom tantalum yang stabil untuk pengendapan film tipis.
Sifat kimia tantalum sangat stabil, dan hampir tidak bereaksi dengan asam lain kecuali asam fluorida dan asam sulfat pekat panas. Ini juga dapat digunakan untuk waktu yang lama di lingkungan kimia yang keras, dan film tantalum yang dibuat darinya juga memiliki ketahanan korosi yang baik. Permukaan Tantalum rentan membentuk lapisan pasivasi oksida tantalum yang padat dan stabil, yang secara efektif dapat mencegah korosi oksidasi lebih lanjut dan meningkatkan masa pakai material.
Bidang aplikasi
Dalam produksi sirkuit terpadu, bahan target tantalum digunakan untuk menyiapkan lapisan penghalang difusi, mencegah interkoneksi tembaga berdifusi ke dalam substrat silikon, meningkatkan keandalan dan kinerja perangkat, dan juga dapat digunakan sebagai bahan gerbang atau bagian dari gerbang logam untuk MOSFET, serta elektroda kapasitor pada perangkat memori-kepadatan tinggi seperti DRAM.
Dalam produksi layar kristal cair (LCD) dan dioda pemancar cahaya organik (OLED), target tantalum digunakan untuk menyiapkan elektroda dan lapisan kabel transistor film tipis (TFT). Stabilitas dan konduktivitasnya membantu meningkatkan kualitas tampilan. Selain itu, lapisan ini juga dapat digunakan sebagai lapisan enkapsulasi film tipis pada OLED untuk memperpanjang umur perangkat.
Digunakan untuk menyiapkan film optik seperti pelapis atau filter anti reflektif, film tantalum dengan kemurnian{0}}tinggi memiliki indeks bias yang seragam dan daya tahan yang baik, cocok untuk instrumen optik presisi seperti lensa kamera dan perangkat laser. Di lingkungan kimia, minyak bumi, kelautan, dan lainnya, lapisan anti-korosi yang dibuat dari bahan target tantalum dapat secara efektif melindungi peralatan, saluran pipa, dan wadah dari korosi.